1一、真空設備正壓法

a、壓降法判斷：在*密封所有接觸面的情況下，通過壓力儀表測試壓力變化情況來判斷泄漏量的大小，進而推斷出該設備的泄漏程度，但不能就泄漏點進行明確定位。

q =（P1-P2）/ΔT

式中P1———充氣結束后，檢測開始時設備內部壓力值，Pa;P2———測試結束時，設備內部壓力值，Pa;ΔT———檢測總時間差T2-T1，h

為更加準確的對設備泄漏大小情況進行定量判斷，也可換算為泄漏率。

qL =q×V/3600

式中V———真空配件設備容積，L

根據設備的不同，其要求的泄漏率也不相同，適用于對大型容器泄漏的定性判斷，一般對于微漏很難檢測出來。

b、水浸檢測：就是在設備內壓力達到正壓后，將其浸沒于水中，通過觀測氣泡的情況，來判斷泄漏的位置和大小，適用小型復雜腔體密封件的檢測，可較的確定泄漏點的位置，因此該法又稱為氣泡法。對于大型設備，需要足夠大的水槽，同時，設備的起吊和搬運相對困難，人員的觀測也不容易靠近和操作，且此法要注意充氣壓力的控制，壓力過低對與微漏點不會產生氣泡，壓力過大會對設備本身和操作人員產生安全隱患，需根據被檢容器的設計情況確定合適壓力范圍。同時，對于雙層加套結構，只能判斷是否有漏點，氣泡會從進出水管外溢，不能明確內壁的具體漏點位置。

c、定點測試：即在設備內部達到正壓后，采用肥皂水對所有接口和焊縫進行涂抹，當有泄漏時，會發現明顯的氣泡產生，通過氣泡的大小和頻率可以明顯地定位漏點和明確泄漏量的大小，此法也是氣泡法的一種。此法特別適用于雙層夾套結構的爐體檢測（如圖3 所示），由于該結構一般只有進水口出水口，通過堵塞一個口，向另一個口充入正壓，即可對設備內外所有接口焊縫及板材中的漏點進行準確判斷，且此種結構的可充氣壓力相對較高些，更便于觀測，且操作簡單，不用其他外購件和檢測設備。

2二、真空設備負壓法

a、壓升率法，通過計算壓力升高的速率，定性判斷泄漏量的大小。

q =（P2-P1）/ΔT

式中P1———停止對真空腔體抽氣后15 min 時的真空度，Pa;P2———測試結束時，設備內部的真空度，Pa;ΔT———檢測總時間差T2- T1，h

由于設備的使用工況和對真空度要求的差異，P1 可能相差幾個數量級，決定了真空抽氣系統的形式。同時, 對于不同的爐膽形式應充分考慮材料放氣的影響（特別是石墨炭氈及硅酸鋁纖維等疏松多孔的保溫材料）,建議對爐體進行抽極限和烘烤,再進行壓升率的測試,通過計算可以對泄漏情況做出判斷，但對漏點位置不能做出明確的定位。

b、丙酮檢漏法：對于選用兩級及兩級以上的真空系統進行抽氣，當真空度低于10 Pa 以下就可以采用丙酮法進行漏點位置的確定。為了便于觀測，一般是經過較長時間的抽真空，當設備內的壓力下降比較緩慢時（可認為已到達設備的極限真空度），采用針管將丙酮對各接口和焊縫位置進行噴灑，此時，對真空度進行隨時觀測，如果有漏點，在丙酮達到漏點位置的瞬間，由于液體的隔離作用，阻止了大氣的持續漏入，真空度會迅速升高，但隨著丙酮液體被吸入設備腔體內部，迅速揮發氣化，此時設備的真空度又會馬上下降，通過此法可以較為明確的判斷出漏點的位置來。由于，丙酮為液態，在噴灑時對于垂直地面的焊縫，應由底部向上噴灑，以防液體快速流到底部焊縫，影響泄漏點位置的確定。此法對于真空設備來說，檢測成本較低，但考慮到丙酮對真空系統可能會帶來一定的腐蝕作用，需謹慎少量使用此法，特別是在有擴散泵的情況下，丙酮會對油體產生污染，影響到擴散泵的抽氣能力和油的使用壽命，操作人員也要做好自身的防護工作，防止丙酮接觸人體。

c、氦氣質譜分析儀：該方法就是在負壓法的基礎上，采用質譜儀來進行檢漏，其連接方式有多種，筆者根據實際的使用，對為通用和檢漏本低的方式進行說明，該方法可以對漏點進行位置的確定和泄漏量的判斷（對于小型腔體，可省去真空系統，采用氦氣質譜分析儀直接對所檢腔體進行抽氣檢漏）。

此方法的檢測精度較高，適合對氣密性要求很嚴格的設備的檢測，氦氣檢漏儀一次性投資較高，檢測運行成本相對較低，對檢測人員無身體傷害，是比較理想的檢漏手段。目前的檢漏儀已有國產化的設備，已經可以是實現較低真空度的啟動檢測，小可檢漏率已達到10- 12 cc/sec，報警點也可進行人工選擇。通過筆者使用過的兩臺檢漏儀比較，隨著技術的進步，目前的起測點真空度已經可以達到2000Pa，這樣就大大節省了檢測前的抽真空時間，同時，檢漏儀的體積越來越小，重量也越來越輕，更加方便搬運。