等離子清洗機,等離子表面處理儀應用領域：
1、清洗光學器件、電子元件、激光器件、鍍膜基片、芯片
2、改善粘接光學元件、光纖、生物醫學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力
3、去除金屬材料表面的氧化物
4、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增強其表面粘附性、浸潤性、相容性
5、高分子材料表面修飾
等離子清洗機,等離子表面處理儀簡介：
是一種表面處理設備， 用氣體作為處理介質，它是利用能量轉換技術以電能將氣體轉換為化學反應性和活性很高的氣體等離子體，等離子體對固體樣品表面進行相互作用，引起分子結構改變，從而對樣品表面的有機污染物進行超清洗和使樣品表面改性，以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質有效地避免了對環境和樣品帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面，短時間就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清洗能力達到分子級。等離子清洗機可對樣品的表面改性，加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也可對樣品消毒和殺菌。
結構：
設備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體，利用真空泵將工作室進行抽真空達到所需工藝的真空度，再在高頻發生器的作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態）。高頻發生器提供能量使氣體電離成等離子態。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
真空腔的設置具有很強的靈活性，腔內有可調節層極板插槽，根據需要每個插槽內的極板都可以設置為獨立的陽極、陰極。也可以根據需要來調整極板間的距離，來達到不同的工藝效果。由于勻氣腔、抽氣口、以及陽極、陰極極結構*的氣流設計。
主要技術指標：
l、電源：220V 50Hz 1.5KW
2、整機尺寸：（長×寬×高） 620×550×1630mm
3、反應室尺寸：（長×寬×高）450×450×300mm
4、射頻電源：13.56MHz；0～500W連續可調
5、zui大負荷電流：10ARMS
6、zui大負荷電壓：200VRMS
7、傳輸效率：>90％
8、全自動匹配
9、匹配時間：3～5s
l0、可匹配阻抗實部范圍：1～500Ω
l1、可匹配阻抗虛部范圍：－j200～＋j200
l2、主電容：空氣電容
l3、起輝真空度：約-100KPa左右
l4、冷卻方式：風冷
l5、真空腔：鋁腔
l6、電極：陰極、陽極。兩極之間zui大距離50mm；可調節
l7、氣體流量：國產質量流量計，量程為：0-2L/min和0-5L/min
l8、配4升機械泵
l9、整機采用松下plc、觸摸屏控制
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