離子減薄儀制備儀庫號：M403620

離子減薄儀制備儀庫號：M403620離子減薄儀制備儀庫號：M4036201. 工作條件
1.1 電力供應：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ
1.2 工作溫度：15℃-25℃
1.3 工作濕度：< 60%
2. 技術要求
*2.1 離子槍：潘寧式離子槍，裝載永磁鐵，聚焦離子束設計，無耗件。
*2.2減薄角度：+10°到-10°，每只離子槍可獨立調節。
2.3 樣品臺旋轉：樣品臺可以旋轉，轉速1~6 rpm可調。
2.4 樣品臺移動范圍：載臺可以實現X和Y方向的移動，移動范圍：+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量：0.1keV~8keV?？稍诓煌妷合伦詣觾灮x子束束流。電流密度可達10mA/cm2.
2.6 離子束調制：可以進行角度選擇性區域離子減薄減薄
2.7樣品更換：快速樣品更換時間<1min，無需破減薄室真空
*2.8樣品臺：DouPost樣品臺以及裝樣器，方便快速更換樣品以及實現雙面減薄。
2.9 真空系統：無油機械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統。
2.10 所需氣體：氬氣，操作壓力25psi，無需水冷
*2.11 控制部分：10英寸觸摸屏控制，菜單化操作，并支持減薄程序的設定和儲存。

備注：其中，帶*的指標為重要的必須滿足的技術指標