主要技術規范
1、真空室內腔尺寸：寬×高×深：1950×1050×750（mm）
2、極限真空：1.3×10-4Pa(空載時)
3、抽氣時間：從大氣到9.7×10-4Pa≤50min
4、升壓率：≤5Pa/h。
5、真空測量：雙熱偶電離復合真空計1臺，熱偶規2支，大氣壓-1Pa；
電離規2支，10Pa-10-5Pa。
6、可鍍卷材：zui大幅寬：150mm，zui大卷徑：φ=400mm
7、卷繞速度：0.1-10mm/min
8、加熱器：
加熱器高功率：IGBT電源，35KW（可根據用戶要求配置）
數量：2個
加熱區域：控溫精度1℃，溫度均勻性3℃
9、氣氛控制：3臺D07—7B/ZM型氣體質量流量計，
10、真空系統：由脂潤滑分子泵，前級機械泵，羅茨泵，電磁氣動真
空閥門，真空管道組成。
11、冷卻水：循環冷卻水機。
去離子水電導率：小于50μ S /cm
壓力:0.1～0.25MPa, 流量：約10T/h，水溫＜25℃
16、總功率：三相四線，380V，50HZ，80KV。
17、電氣控制系統一套，主要元器件均為施耐德品牌。
18、總控系統：PLC控制，互鎖設定，觸摸屏顯示（可根據要求定制）。
