昆山國華等離子清洗設備廣泛生活應用
要應用于實驗、科研 、醫學及小規模的生產領域。特點:成本低,整機機械、電氣結構簡單、實用,易維護??刂?方式:手動或者自動控制模式,利用各簡單元器件的巧妙 組合成自動控制體系,各參數調整好后,一鍵完成整個清洗工藝。等離子體◎電源功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。◎射頻電源(核心器件采用美國進口)◎氣體質量流量計采用美國進口,由模擬量輸入輸出,量程為0-200sccm可在量程范圍內無級調節、針閥等控制工藝氣體流量?!蚯逑赐瓿捎刑崾疽簟蚍瓷涔β蔬^大報警◎工藝氣體耗盡報警◎泵熱過載報警◎反應倉泄露報警◎電極采用高通量等離子結構,牢固可靠易拆卸。◎反應倉為矩形不銹鋼腔體,水平電極放置,間距可調。◎真空泵采用雙腔式旋片泵,極限真空度可達2Pa以下,一般采用外置。◎真空泵可選配液位低報警裝置
昆山國華等離子清洗設備廣泛生活應用,等離子體的作用我們也介紹一下:
應用于半導體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以生命科學實驗等。該設備等離子體頻率13.56MHz;射頻電源功率0~600W可調。產品使用環境條件為潔凈廠房和要求干燥的地方。
等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述:
一、控制單元:
目前國內使用的等離子清洗機,包括國外進口的,控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為兩個大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱為微波等離子,主要的功能作用,前面已經提到了,這里就不一一介紹了。2)系統控制單元:分三種,按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
二、真空腔體:
真空腔體主要是分為兩種材質的:1)不銹鋼真空腔體,2)石英腔體。
三、真空泵:
真空泵分為兩種:1 干泵、2)油泵