制備超純水設備的工藝大致分成以下幾種：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過濾器→純水箱→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→砂碳過濾器→反滲透設備→原水箱→純水泵→電去離子（EDI）→純水箱→用水點
4、采用反滲透+混合床方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→砂碳過濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過濾器→用水點
以下為一經典18x106Ω•cm工藝流程及圖片：
原水→原水泵→砂碳過濾器→加藥裝置→一級反滲透→中間水箱→PH調節裝置→二級反滲透→二級水箱→輸送泵→精密過濾器→TOC去除機→EDI→超純水箱→輸送泵→拋光混床→UV殺菌器→精密過濾器→用水點
超純水設備用途：污水、廢水的回收利用
一些西方國家曾經利用一些方法處理污水，但是處理之后的效果不佳，沒有從根本上進行*的處理。此外，超濾設備其價格比較低為廢水回收再利用提供了有力的條件。其實，從城市污水處理廠和工場中排出的廢水經過處理之后*可以再利用，然而此類做法在西方用戶那里難以得到信賴。Windhoek曾經將污水處理廠的出水采用膜技巧回用為飲用水。
地表水處理
超濾設備大多數是利用在地表水處理之上的，處理后的水用于澆灌或作為反滲透的進水，來制備工業用水。這類工廠在荷蘭等地的數量逐步上升。這種技巧供給了不用在購置越來越貴的飲用水就能就近取用地表水。
生活飲用水處理
因為生活水平的提高，人們對飲用水的質量要求也就越來越高，水處理公司關注控制供水管網中存在的微生物的量。為了做到這一點，是以一種方法是停止昂貴、頻仍的水質檢驗，或許在供水終端設置防止細菌和病毒進進的樊籬。采用UF系統，可以很是方便的建成多么的樊籬。超濾膜對細菌的往除率可以達到6log，關于病毒的往除率達到4log，是以水廠和用水者都不用在擔心細菌和病毒的標題。因為飲用水的質量自身就很高，是以此時的膜系統可以可以采用很高的膜通量，可以達到135升/平米.小時。同時較高的進水前提，是以反沖頻率和化學加強反洗的頻率都可以很是低，產水量可以達到99%。假設需要還可以設立二級超濾設備，將*級的反洗水進一步回用。
用來進行海水淡化
中東地區是水資本缺乏zui嚴重的處所。為懂得決這個標題，zui早人們凡是采用蒸餾技巧。從十九世紀60年月，膜技巧被用于處理這些國家的缺水標題。可是，良多反滲透海水淡化(利用半透過膜為海水脫鹽出產海水)(利用海水脫鹽出產海水)系統面臨著膜污染嚴重的標題。
