純水設備制造的水是純度*的水。集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。
超純水：既將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm
純水設備是美國科技界為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制水設備，這種水中除了水分子（H20）外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。
系統四周應留有足夠空間用以連接水管、電源和更換耗材。
機器請安裝在靠近水源、電源和水槽的位置。
水源要求
以自來水為水源的系統，要求進水壓力要符合設備要求，進水管徑不得小于規定尺寸。
(如果壓力較低將導致系統不能正常運轉。如果壓力較高將可能導致系統漏水。)
需考慮進水的硬度，如硬度較高，需首先對進水進行軟化處理。
以純化水為水源的系統，要求進水的TDS值需小于20PPM。
