UV光催化廢氣凈化通過具有一定能量的光照射,光敏半導體材料即被光激發出電子-空穴對，吸附在光敏半導體表面的溶解氧、水及污染物分子接受光生電子或空穴,從而發生一系列的氧化還原反應，使污染物降解為二氧化碳和水等物質。未*裂解的小分子有機物及臭氧分子進入活性炭反應階段，氣固相開始接觸，有機分子與臭氧在活性炭的細孔中繼續氧化反應，達到*降解的目的，（在外加電場的作用下，介質放電產生大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發一系列復雜的物理、化學反應，使復雜的大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，從而使污染物降解為二氧化碳和水等物質。）
UV光催化廢氣凈化特點
1、利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射來裂解排放的廢氣，能有效的處理：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子廢氣化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等，從而達到有效的治理，實現達標排放。
2、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需要與氧分子結合，進而生產臭氧。臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有良好的削除效果。
3、惡臭氣體通過廢氣收集排風設備進入到裝有UV高效光解氧化模塊的反應腔后，高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
4、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA)，再通過臭氧進行氧化反應，*達到脫臭及殺滅細菌的目的。
