3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000

儀器簡介：

  LEXT 4000備有常規顯微鏡的功能，并有BF，DF，DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長半導體激光為光源,通過顯微鏡內高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描，獲得水平分辨率高達0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進馬達驅動和5nm光柵控制的聚焦裝置，運用共聚焦技術（Confocal），逐層獲取樣品各個二維圖像和焦面的縱向空間坐標。經計算機處理,將各個焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實形態(近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將采樣數據運算后,可獲得亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚，幾何參數等測量數據?？勺鳛楦呔葴y量設備，符合國際計量追溯體系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。


主要特點：

精益求精的測量性能

1> 輕松檢測尖銳角

采用了有著高N.A. 的專用物鏡，和能限度發揮405 nm 激光性能的專用光學系統，LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

2> 克服反射率的差異

LEXT OLS4000 采用了新開發的雙共焦系統。由于配置了2 個共焦光學系統，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。

3> 穩定的測量環境

為了排除來自外部的影響，穩定測量，LEXT OLS4000 機座內置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機構”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進行測量作業，不需要專用的防震平臺。

4> 更加真實的再現微小凸凹

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實現對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動態觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

5> 對應大范圍觀察

在高倍率影像觀察中，視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了縫合功能，最多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和大視場范圍的影像數據。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對該大視場影像進行3D 顯示和3D 計測。

理想的操作環境

1> 通過ID 管理來強化自定義和安全性

操作員可以使用自己的ID 登錄系統，對影像數據庫和操作環境進行自定義。報告和影像上會顯示ID 號碼，這樣，誰、何時創建或拍攝等信息便一目了然。此外，還可以對每個ID 設置級別，管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。

2> 即使是初次使用者也能安心操作的向導功能

LEXT OLS4000 搭載了詳細的向導功能，即使是初次使用者也能立即操作儀器，不需要在閱讀使用說明書或培訓上花費時間。也可以對向導功能進行自定義。

3> 不會在觀察中“迷路”的宏觀圖

一直以來，由于高倍率觀察時的視場變窄，經常會有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發生。LEXT OLS4000 搭載了宏觀圖功能，始終顯示低倍率觀察時的大范圍影像，在影像上指出“現在在這里”。

4> 避免接觸和損壞樣品、自動調整影像的電動物鏡轉換器

為了避免切換物鏡時損壞樣品，LEXT OLS4000 搭載了標準配置的電動物鏡轉換器。切換物鏡時，物鏡轉換器自動退避，不會接觸樣品。不僅如此，電動物鏡轉換器還能同時自動對準焦點和影像中心，調整合適的亮度，實現了輕松的倍率變換操作。

5> 能提供熟練操作者描繪水平的INR 算法

奧林巴斯根據長年積累的經驗和技術，成功的在設備中嵌入了相當于熟練操作者水平的異常值判斷基準。這就是新搭載在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。

6> 實現了創建報告時必需的快速和簡明易懂

激光顯微鏡可以代替相關人員，快速而清楚地把觀察和測量結果制作成報告。LEXT OLS4000在測量結束后，只要一個點擊就可以完成創建報告任務。同時，LEXT OLS4000 還備有充實的編輯功能，可以自由自在地定制各種報告模板。

的粗糙度分析能力

1> 將激光納入表面粗糙度測量儀的標準中

作為表面粗糙度測量儀的新標準，奧林巴斯開發了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100 mm 的粗糙度。

2> 微細粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比觸針的針尖直徑更細微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑，所以能夠對微細形狀進行高分辨率的粗糙度測量。

3> 非接觸

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到觸針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在觸針上，無法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡，不會影響樣品的表面狀態，可以準確的測量樣品的表面粗糙度。

4> 微細處的測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其觸針無法進入微小領域，所以不能對微小領域進行測量。而激光顯微鏡可以正確定位，能輕松測量出特定微小領域的粗糙度。

3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規格