技術應用鏈接:
Tetra 830 AL-PC | 兩個門
開關柜:寬 600 mm、高 1,700 mm、深 800 mm
腔室:900 mm、高 400 mm、深 2300 mm
門:2 個(正面 1 個,背面 1 個)
腔室容積:約 830 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 1 個氣體通道
發生器:1 個 (80 kHz)
控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
自動化:本設備可集成于一條生產線中。
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加