5英寸近距離蒸發鍍膜爐（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5

爐體結構和真空腔體

• 采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體
• 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法蘭

• 真空法蘭為316不銹鋼制作
• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口
• 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，體內真空度可達10^-2 torr.

加熱元件和載樣臺

• 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部
• 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節，調節范圍為：2-50mm
• 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）
• 采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性
• 底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發原料
• 此款儀器使用時需要配用一循環水冷機（16L/m)

  

溫控系統

• 兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序
• 每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護
• PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中
• 控溫儀表操作視頻
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工作溫度

• 高工作溫度為：800℃
• 兩個加熱區之間的大溫差為300℃

加熱和冷卻速率

• 加熱速率> 8ºC/s（每個溫區單獨加熱）
• 冷卻速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

熱電偶

兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關）

功率

3000W

可選

• 實驗時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵
• 采用機械泵可使腔體內的真空度達到< = 10E-2 torr
• 若要使真空腔體內達到更潔凈的工作環境，可換購無油泵
• 也可選購質子流量計混氣系統，將實驗所需氣體安比列混好后導入到真空腔體中
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質保

一年質保期，終生維護（不包括密封圈、加熱元件和石英管）