低溫等離子體技能處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電發生的很多攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激起，然后便引發了一系列雜亂的物理、化學反響，使雜亂大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后發生的電子平均能量在10ev ，恰當操控反響條件能夠實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反響變得十分快速。/
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