半導體行業超純水設備
半導體(semiconductor),指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體材料很多,按化學成分可分為元素半導體和化合物半導體兩大類。鍺和硅是***常用的元素半導體;化合物半導體包括Ⅲ-Ⅴ族化合物:砷化鎵、磷化鎵等;Ⅱ-Ⅵ族化合物:硫化鎘、硫化鋅等;氧化物:錳、鉻、鐵、銅的氧化物,以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體:鎵鋁砷、鎵砷磷等。除上述晶態半導體外,還有非晶態的玻璃半導體、有機半導體等。
設備特點:
1、無需酸堿再生:在混床中樹脂需要用化學藥品酸堿再生,而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工作,保護了環境。
2、連續、簡單的操作:在混床中由于每次再生和水質量的變化,使操作過程變得復雜,而EDI的產水過程是穩定的連續的,產水水質是恒定的,沒有復雜的操作程序,操作大大簡便化。
3、降低了安裝的要求:EDI系統與相當處理水量的混床相比,有較不的體積,電子半導體用超純水設備采用積木式結構,可依據場地的高度和靈活地構造,模塊化的設計,使EDI在生產工作時能方便維護。
工藝流程
1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)。
應用領域
1、電廠化學水處理
2、電子、半導體、精密機械行業超純水
3、食品、飲料、飲用水的制備
4、小型純水站,團體飲用純水
5、精細化工、精尖學科用水
6、其他行業所需的高純水制備
7、制藥工業工藝用水
8、海水、苦咸水的淡化