等離子凈化設備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。 低溫等離子體激發 本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是理想的一種能。
等離子凈化設備是根據不同廢氣配有不同藥劑，采用濕法處理的方法來凈化多種有毒、有害廢氣的一種裝置。它是吸取了泡沫塔、噴淋塔、填料塔等凈化技術的精華而設計的，兼有除塵效果。
那日常維護等離子凈化設備都要做哪些工作呢？
一、檢查潤滑油，潤滑油對于等離子凈化設備說非常重要，如果缺少的話，將加大等離子凈化設備的磨損程度，所以在開機前，要檢查一下，看其是否缺少潤滑油。
二、對等離子凈化設備進行定期不定期的清潔，機器使用的時間長了，會產生一些雜物，對于等離子凈化設備的運轉會產生影響，所以對其要進行清潔。
三、注意做好防銹工作，不管是什么樣的等離子凈化設備，都要注意使用環境，避勉不了在潮濕的環境中使用，所以 要做好防銹工作。
