臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌*，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌都有殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不*、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。
活性氧(臭氧)滅菌消毒作用體現在它的強氧化性上，是的綠色廣譜高效的消毒滅菌劑。廣泛用于飲用水消毒，醫療衛生機構空氣消毒，臭氧會在30-40分鐘后自動還原成氧氣，沒有化學殘留二次污染。所應用的領域有消毒柜、果蔬解毒機，婦科、食品加工、飲用水灌裝消毒設備等。詳情可以查閱科普圖書資料或網上查詢以驗證。
臭氧消毒滅菌方法與常規的滅菌方法相比具有以下特點:
(1)高效性。臭氧消毒滅菌是以空氣為煤質，不需要其他任何輔助材料和添加劑。所體包容性好，滅菌*，同進還有很強的除霉、腥、臭等異味的功能。
(2)高潔凈性。臭氧快速分解為氧的特征，是臭氧作為消毒滅菌的優點。臭氧是利用空氣中的氧氣產生的，消毒過程中，多余的氧在30分鐘后又結合成氧分子，不存在任何殘留物，解決了消毒劑消毒方法產生的二次污染問題，同時省去了消毒結束后的再次清潔。
(3)方便性。臭氧滅菌器一般安裝在潔凈室或者空氣凈化系統中或滅菌室內(如臭氧滅菌柜，傳遞窗等)。根據調試驗證的滅菌濃度及時間，設置滅菌器的按時間開啟及運行時間，操作使用方便。
(4)經濟性。通過臭氧消毒滅菌在諸多制藥行業及醫療衛生單位的使用及運行比較，臭氧消毒方法與其他方法相比具有很大的經濟效益及社會效益。在當今工業快速發展中，環保問題特別重要，而臭氧消毒卻避免了其他消毒方法產生的二次污染。
國內的臭氧技術逐漸的成熟，臭氧也慢慢被人們所熟知，由于它的消毒能力強從而代替了常規消毒被應用到各個領域
