The Hysitron PI 89 掃描電鏡聯用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡(SEM、FIB/SEM)的成像能力,可以在成像的同時進行定量納米力學測試。這套全新系統搭載 Bruker 的電容傳感技術,繼承了市場的批商業化原位 SEM 納米力學平臺的優良功能。該系統可實現包括納米壓痕、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮、懸臂彎曲、斷裂、疲勞、動態測試和力學性能成像等功能。
控制和性能
具有固有的位移控制,位移范圍從<1nm to 150µm,業界的力范圍從<1µN to 3.5N,和78kHz的反饋速率和39kHz的數據采集速率,從而記錄各種瞬態事件。
Hysitron PI 89的緊湊設計允許的樣品臺傾斜,以及測試時成像的最小工作距離。PI 89為研究者提供了比競爭產品更廣闊的適用性和性能:
- 重新設計的結構增加適用性和易用性
- 1 nm精度的線性編碼器實現更大范圍下更好的自動測試定位重復性
- 更高的框架剛度(~0.9 x 106 N/m)提供測試過程更好的穩定性
- 兩種旋轉/傾斜模式實現城鄉、FIB加工、以及各種探測器的聯用,包括EDS, CBD, EBSD, and TKD等。