北京金盛微納科技有限公司為國家、中關村，中國真空學會理事單位，中國電子專用設備工業協會、中國微米納米技術學會會員單位。主要從事半導體設備、微細加工設備的產品研制、設計開發、生產銷售，并開展相關工藝的研究及應用。主要產品有：勻膠機（SC）、烘膠臺(BP)、曝光機、刻蝕機(RIE、ICP、IBE)、等離子體淀積臺（PECVD）、磁控濺射臺（Sputter）、去膠機、濺射/刻蝕/淀積一體機、鍵合爐等。產品應用范圍涉及微電子、光電子、LED、MEMS、傳感器、平板顯示、通訊等領域，主要用于科研機構、大專院校、生產企業和公司進行各種器件的研究、開發和批量生產。公司建有“微細加工工藝示范線”以“開放實驗室”的形式對各大專院校、研究院所、企業等相關研究、生產單位開放。在“開放實驗室”里用戶可獲得：設備選型、項目預研與立項、合作攻關、工藝培訓、外協加工等服務支持。
公司特點
產品成線：公司可提供面向用戶研發與生產的工藝線上的核心設備，從勻烘系列、光刻系列、刻蝕系列、鍍膜系列、去膠、鍵合系列到組合設備。設備產品成線奠定了產品研發和生產過程中設備的協同，提供了研發和生產有效的工藝、工序保障。
產品立體化：公司依據不同科研單位、大專院校和生產企業的需求，生產標準（手動）設備、自動設備、具有LOAD-LOCK功能的全自動設備，以及為特定用戶個性化生產的組合設備。以此形成滿足不同層面、不同個性化需求的立體化設備產品體系，自動化設備以及內嵌的專家工藝，為產品生產的穩定性、工藝的重復性提供了有效的硬件基礎，使之更好地應用于科研和生產。
產品與工藝配套：依托公司完備的設備基礎和優勢的工藝力量，公司在產品設備上，開發了相應工藝，使之達到設備和工藝的結合，讓用戶獲得效果及解決方案。公司的“開放試驗室”還可提供完善、便捷的售后服務、技術支持，由此形成了既無前憂又無后顧的產品服務環境，成為公司產品占有市場的又一利器。
本設備采用PLC控制，觸摸顯示屏操作。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發和生產平臺。
本設備通過對真空系統、下游壓力閉環控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動控制，以及所具有的安全互鎖、智能監控、在線狀態記憶、斷點保護等功能。使設備的安全性、重復性、穩定性、可靠性得到有效保證。
產品主要性能指標：
型號 | RIE-24000 |
真空系統 | 進樣室：機械泵系統；刻蝕室：分子泵機組 |
樣品尺寸 | 500×400mm |
刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
自動化程度 | 真空系統、機械手送/取樣片、下游壓力閉環控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。 |
人機界面 | Windows環境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
配套件選配 | 可選擇進口件或國產件 |
送/取樣片方式 | 機械手自動送/取片 |
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