激光橢偏儀：PH-LE

                 
 

     多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有的精確度和準確度。
 
 產品特點：
 ■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片
 ■ 可以測量拋光片，精確度和準確度
 ■ 可以測量粗糙表面的“絨片”
 ■ 適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
 ■ 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數（偏振因數）進行測量和評估，提高測量精度
 ■ 配置有高穩定度補償器，提供最小的漂移值和最小的測量誤差
 ■ 配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
 ■ 可進行20°－90°范圍內的多角度測量
 
 測量特點：
 ■ 非破環性檢測
 ■ 樣品準直簡單方便
 ■ 測量速度快
 ■ 可變入射角范圍寬
 ■ 測量
 ■ 軟件分析功能強
 
 技術指標：
 ■ 光源：He-Ne激光器
 ■ 光斑直徑：1-2mm
 ■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步
 ■ 精度：0.002°~ 0.02°
 ■ 膜厚精度：0.01mm，對100nmSiO2on Si
 ■ 折射率精度：0.0005，對100nmSiO2on Si
 ■ 激光光斑：直徑1mm
 ■ 激光波長632.8 nm
 

 典型客戶：
 美國，歐洲，亞洲及國內太陽能及半導體客戶。