臺階儀ET200A產品參數
| 試片尺寸 | Φ200mm×高度50mm |
|---|---|
| 重現性 | 1σ ≤ 1nm |
| 測定范圍 | Z:600um X:100mm |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 10UN~500UN (1mg-50mg) |
| 載物臺 | Φ160mm, 手動360度旋轉 |
ET200A基于Windows 操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
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