| 指標特點 | Elli-SE | μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer |
| 測量常數 | 膜層厚度，折射率n，消光系數k，波長λ | 膜層厚度，折射率n，消光系數k，波長λ |
| 膜厚范圍 | 亞埃級-10微米（取決于膜層） | 亞埃級-10微米（取決于膜層） |
| 波長范圍 |
240 ~ 1050 nm （紫外線） or 380 ~ 1050 nm 光譜范圍選項：Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
| 240 ~ 1050 nm（紫外線） 光譜范圍選項：Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
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| 測量能力 |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點（取決于膜層） |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點（取決于膜層）
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| 束斑直徑-尺寸 | 1.5 mm (可選 100μm, 50 μm, 20 μm) | 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm |
| 入射角 | 45°~90°（自動變換角度） | 45°~90°（自動變換角度） |
| 膜層數量 | 多至10層（取決于膜層） | 多至10層（取決于膜層） |
| 重復性 | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å |
| 色散關系 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學）, Drude-TL, Drude-QM 等 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學）, Drude-TL, Drude-QM等 |
| 提供功能 | 折射率、消光系數和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數庫 用戶定義的模型功能，數據導入和導出功能，可擴展庫 | 折射率、消光系數和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數庫 用戶定義的模型功能，數據導入和導出功能，可擴展庫 |
| 應用 | 介質層，半導體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導體材料、顯示、介質、聚合物、化合物、太陽能電池 | 介質層，半導體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導體材料、顯示、介質、聚合物、化合物、太陽能電池 |
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