第 3 代 Film Sense 多波長橢偏儀系統現已上市！這一代的主要改進是電動源偏振器，它支持自動校準和區域平均測量。新系統具有與獲得的* FS-1 橢偏儀技術相同的優點（長壽命 LED 光源、快速可靠的無移動部件探測器、緊湊型設計和網絡瀏覽器軟件界面），同時保持易用性和經濟性。
電動源偏振器：
– 提供自動儀器校準
– 實現區域平均測量，以提高測量精度
強度提高 4 倍（與原始 FS-1 相比）和更新的檢測器電子設備提供更高的測量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍
FS-1™（第 3 代）橢偏儀
4 個波長，450 – 660 nm 光譜范圍（替代原來的 FS-1）
測量 0 – 2 μm 厚度范圍內的單層透明薄膜的選擇，精度低至 0.0004 nm
*美國zhuan利#9,354,118
FS-1EX™（第 3 代）橢偏儀
6 個波長，405 – 950 nm 光譜范圍
2 個較長的波長（850 和 950 nm）能夠測量較厚的透明薄膜（高達 5 μm）和吸收半導體薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
薄膜電阻率測量（使用 Drude 模型）也通過 2 個更長的波長得到改進。
手動樣品加載和高度調整。
樣品尺寸可達 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范圍內的樣品傾斜。
樣品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
占地面積小 (180 x 400 mm)，重量輕 (5 kg)。
第 3 代通用規格
緊湊型光學元件：光源 142 x 80 x 60 毫米，探測器 110 x 80 x 60 毫米
簡單連接：+5V 墻上插頭電源、以太網和源檢測器鏈接電纜電動源偏振器：
– 提供自動儀器校準
– 實現區域平均測量，以提高測量精度
強度提高 4 倍（與原始 FS-1 相比）和更新的檢測器電子設備提供更高的測量精度：非原位 2 倍，原位 4 倍
FS-1 波長
FS-1™（第 3 代）橢偏儀
4 個波長，450 – 660 nm 光譜范圍（替代原來的 FS-1）
測量 0 – 2 μm 厚度范圍內的單層透明薄膜的選擇，精度低至 0.0004 nm
*美國zhuan利#9,354,118
FS-1EX™（第 3 代）橢偏儀
6 個波長，405 – 950 nm 光譜范圍
2 個較長的波長（850 和 950 nm）能夠測量較厚的透明薄膜（高達 5 μm）和吸收半導體薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
薄膜電阻率測量（使用 Drude 模型）也通過 2 個更長的波長得到改進。
6 個波長和更寬的光譜范圍為多層薄膜堆疊提供增強的測量能力
標準異地配置
65° 入射角。手動樣品加載和高度調整。
樣品尺寸可達 200 毫米直徑。和 20 毫米的厚度。
+/-2° 范圍內的樣品傾斜。
樣品上的光束尺寸：4 x 9 mm。
占地面積小 (180 x 400 mm)，重量輕 (5 kg)。
