P系列高性能金屬密封數字質量流量控制器
新一代多氣體/多量程數字質量流量控制器。實時高精度流量控制是基于*的數字算法技術,提供精度為設定值的±1%、相應速度快于500毫秒、不同氣體及量程間自由切換的優異功能。1.125吋寬度。EtherNet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字(RS-485、DeviceNet、Modbus/TCP)通訊接口可選。
?P2A 低壓質量流量控制器,滿量程范圍從2 – 50 sccm。
?P4B 多氣體/多量程數字質量流量控制器,滿量程范圍從5 sccm – 50 slm。
?P9B 多氣體/多量程/壓力不敏感數字質量流量控制器,滿量程范圍從5 sccm – 50 slm。