光學輪廓儀品牌非接觸式表面粗糙度自動測量儀器中圖儀器SuperViewW1

SuperViewW1光學輪廓儀品牌非接觸式表面粗糙度自動測量儀器采用非接觸式的方式，在檢測過程中不會劃傷器件表面，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。
 

結果組成

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
 

部分參數

Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%
   

主要應用領域

1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量；
4、用于機械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復合型材料工件的測量。
 

測量應用

在3C領域，可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業，可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業，可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業，可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業，可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領域，可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度。

SuperViewW1光學輪廓儀品牌設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能，分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。