PCE-6V小型等離子清洗機

產品名稱

PCE-6V小型等離子清洗機

產品型號

PCE-6V

主要特點

1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

2、可短時間內清洗掉有機污染物。

3、清洗程度可達到分子級。

4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。

6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。

7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

技術參數

1、電壓：AC220V  10A

2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz

4、腔體：Ø190mm×98mm

5、石英管：Ø180mm×55mm，壁厚7mm

6、內腔：Ø165mm×55mm

 7、清洗電極：Ø120mm 

8、樣品臺：Ø150mm，有效尺寸Ø140mm

9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調

 10、抽氣管：Ø12mm

 11、極限真空度：0.1Pa

 12、工作真空度：60Pa-500Pa

 13、氣路數量：2路（選裝）

 14、流量控制器數量：1、2

 15、流量顯示儀：2通道

 16、氣路接口：Ø6mm

 17、加熱樣品臺：Ø140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）

 18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

 19、工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m

產品規格

尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵），重量：20kg（不含真空泵）

可選配置

1、加熱樣品臺

2、流量控制器（量程10、50、100，可增加通道數≤2）