| 產品介紹 μscan共聚焦顯微鏡材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。 μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測量)連用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 CF4激光共聚焦傳感器內，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據特殊的內插技術，該系統的精度能達到10nm以下。 μscan激光共聚焦顯微鏡應用 集成電路封裝和表面貼裝：快速獲得封裝翹曲變形、引線共面性、粗糙度、焊料的體積、引線輪廓。 厚膜混合電路:膜厚度的自動化測量 精密部件：測量精密五金配件、塑料、半導體材料的輪廓、粗糙度等 μscan激光共聚焦顯微鏡技術參數 1. 測量原理：非接觸，激光共聚焦 2. 掃描模塊： 2.1 XY方向測量范圍50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm（可選）,馬達驅動 2.2 XY方向平臺分辨率0.5um 2.3 Z方向位移范圍100mm 2.4 測量速度50mm/S. 3. 傳感器模塊 3.1 共聚焦傳感器，激光光源1.5 µm spot size，1 kHz data rate 3.2 Z方向分辨率0,02um 3.3 XY方向分辨率1um，可連續一次掃描成像，范圍達到200mmX200mm 3.4 工作距離 4mm 3.5 Z方向測量范圍1mm 4 系統配置 4.1 計算機：高性能計算機控制系統； 4.2 配有專業工作臺， 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 4.3 可為CF傳感器選配離軸攝像頭(10X)，視野8 x 6 mm² 4.4 功能全面的軟件 4.5 數據分析：輪廓測量、寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數據分析     |
企業簡介克拉克（中國）有限公司從事可靠性測試設備的銷售和測試服務。一、電子行業的失效分析設備銷售及測試服務芯片分析手段匯總（xray,SAT,DECAP,Bond Tester,SEM,Laser Decapsulator)1.)美國激光開蓋機 激光開封機 IC開蓋 芯片開蓋 IC開蓋,時間約30秒左右,特別是銅引線封裝有很好的開封效果.(用戶長電,蘋果)2)日本UNION HISOMET顯微鏡 測量焊球、邦定線高度 Z軸測量誤差低于1微米.3)18650鋰離子電池焊檢拉力測試儀；LED內引線鍵合拉力及芯片剪切力測試儀分辨率高達0.0001克. 金線拉力金球推力機 IC金線拉力 焊點剪切力 TP 提供dage4000鉤針 dage4000推刀 dage4000校正砝碼 royce6504).SAT（超聲波掃描顯微鏡)德國,無損檢查:１.材料內部的晶格結構，雜質顆粒．夾雜物．沉淀物．2. 內部裂紋. 3.分層缺陷.4.空洞,氣泡,空隙等. 產品內部分層掃描。5)微焦點XRay 用途：半導體BGA，線路板等內部位移的分析 ；利于判別空焊，虛焊等BGA焊接缺陷 ?。豏AY：微焦點X射線可以穿過塑封料并對包封內部的金屬部件成像，因此，它特別適用于評價由流動 誘導應力引起的引線變形 在電路測試中，引線斷裂的結果是開路，而引線交叉或引線壓在芯片焊盤的 邊緣上或芯片的金屬布線上，則表現為短路。X射線分析也評估氣泡的產生和位置，塑封料中那些直徑 大于1毫米的大空洞，很容易探測到. ）， 德國Feinfocus6）韓國電鏡SEM OSP薄膜測厚儀 二、金屬鑄件，巖石，橡膠輪胎等檢測： 工業CT，X射線實時成像系統，X光機，****機。（ 工業CT高精度計算機斷層掃描系統鑄件密度分割容積計算空間分布 ）三、 耗材： 磁粉探傷，滲透探傷 磁粉探傷：磁粉對導磁材料鋼，鐵，鈷，鎳等，材料表面微小裂紋的檢測。 如，發動機，軸承，鋼管的表面裂紋的快速檢測。 滲透探傷包括熒光法和著色法。熒光法是將含有熒光物質的滲透液涂敷在被探傷件表面，通過毛細作用滲入表面缺陷中，然后清洗去表面的滲透液，將缺陷中的滲透液保留下來，進行顯象。典型的顯象方法是將均勻的白色粉末撒在被探傷件表面，將滲透液從缺陷處吸出并擴展到表面。這時，在暗處用紫外線燈照射表面，缺陷處發出明亮的熒光。 著色法與熒光法相似，只是滲透液內不含熒光物質，而含著色染料，使滲透液鮮明可見，可在白光或日光下檢查。四、激光測振儀（進口）位移分辨率高達0.008納米。非接觸測量物體振動的速度,加速度,位移,運動軌跡,頻率.全場激光測振實現整面物體的XY軸的振動測量可以彩色動畫輸出。三維激光測振可以實現三軸振動測量。多點激光測振可以同時實現16個振動點振動并可以測量物體瞬間振動和實時的振動模擬.
德國共聚焦顯微鏡三維輪廓測量 產品信息
