德國馬爾Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
德國馬爾Marsurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
德國Mahr Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
德國Mahr Marsurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
德國Mahr馬爾MarSurf UD 120 / LD 120 輪廓和粗糙度測量二合一
采用Mahr的計量技術，輪廓測量和粗糙度測量可以經一次測量后同時解決。秉承這一的理念，Marsurf UD120和Marsurf LD120 可為您提供納米級分辨率的高精度測量。其中的技術包括：測頭更換裝置、根據測量操作的自動識別系統等等…..
組合式的輪廓和粗糙度測量
·德國Mahr馬爾MarSurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀組合
Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀是一次測量完成輪廓和粗糙度評定的通用基礎設備，它具有納米級的分辨率。
·德國Mahr馬爾MarSurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
德國Mahr馬爾MarSurf LD 120粗糙度輪廓測量儀多年來在客戶市場上，代表了輪廓和粗糙度測量的技術。其的技術參數，如殘余誤差Rz = 35 nm、動態測力控制范圍0.5~30mN等，保證了設備能達到要求的準確度，即使是精度的工件測量要求。
受通用軟件和自動控制理念的支持，Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀提供了一個具備Mahr技術的輪廓和粗糙度測量站。軟件控制建立在一個如今被叫做“MarWin”的軟件平臺之上，實現了模塊化和通用性，易于操作。Marsurf UD 120粗糙度輪廓測量儀隨機配備了XCR 20 CNC軟件包，提供了廣泛的測量和評定功能，尤其對于輪廓和粗糙度。驅動軸和立柱升降軸可同坐操作桿進行控制，也可通過程序控制。
·說明
- 一次測量完成粗糙度和輪廓評定
更少的時間、更快的操作、更可靠的結果、更高效的工作，僅僅一個測量，得到所有粗糙度和輪廓參數的結果。給您留下更多的時間完成其它任務！
-最現代的轉換科技，更適合小允差工件
由于設備可以實現在大測量范圍上以高分辨率進行高精度的測量，您可以為您的加工任務留出更小的允許誤差，而承擔新的挑戰。
-創新的測臂移動概念實現穩定性
移動測臂，采用了橋式結構設計，保證了的剛性、最小的測量震動和平直度；這樣一來，使用中，您可以構建任意尺寸的橋式結構！
-測臂的磁性掛架
磁性的安裝設計可以確保系統高頻次的使用，碰撞安全保護，也可實現長使用壽命。
德國Mahr馬爾MarSurf UD 120 / LD 120測量站原理
·測量站組成部分
驅動器 MarSurf UD 120 /LD 120
Marsurf UD 120 / LD 120 驅動器可輕易實現0.1mm到120mm的測量行程，速度控制在0.1到2mm/s以內，由于X軸采用高精度光柵尺，可實現自動定位。
·測頭系統工作原理
測頭工作原理是基于一個帶測尖的搖桿系統，搖桿的另一端是衍射柵格，可以測量搖桿的擺動角度。發光二極管發出的光照射在衍射柵格上，產生干涉圖形。測尖的上升和下降都會使接收端的干涉圖形產生改變，后續的評定電路可以確定柵格的位置，也就確定了測尖的位置。
一個移動的旋轉電機用于Z方向的測頭定位，以確定測頭運動方向和實現測力控制。
為了滿足大多數常見的應用，Marsurf LD120測頭組中默認配備了LD A14-10-2 90°, LD A14-10-500 (LD 120), 和LD A14-10-2 60° (UD 120) 幾種測臂。測頭的剛骨架結構保證了測量時的高直線性、高精度和高可靠性。
為了滿足其它不同的測量任務，還有多種幾何尺寸的測頭和測尖備選。根據您的測量任務的不同，你可以用2μm的金剛石測尖做粗糙度測量，也可以使用25μm的碳鋼測尖作輪廓測量，也可以使用紅寶石測球。用過這種不同的測尖選用，短波和長波的輪廓組成部分就都可以在一次測回之后被記錄以及評定。
·UD 120 / LD 120進行測量過程
簡單、快速、可靠，一次直接測量工件得出結果:
德國Mahr馬爾MarSurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
·配置清單
MarSurf UD 120 測量站發運清單
訂貨號. 6910046
計算機，Marsurf XCR 20軟件 6268382
包括：Midrange 控制箱和軟件
多國語言版Win 7 62682xx
19“ TFT 液晶顯示器 5460043
Marsurf UD 120驅動器 6720817
包含：測臂LD A 14-10-2/60° 6852005
手動控制面板 MCP 21 7033935
測量立柱 ST 500 CNC，帶HZ調節
以及大理石平臺 6710254
包括：控制模塊 6851376
測頭 UD 120 / Ld 120
安裝在測量立柱 ST 500上 6851360
安全裝置 UD 120 / LD 120 7033457
校準標準 6820121
X/Y 工作臺 CT 200 6710530
防震墊 6851368
·技術參數
測量系統 光學測量系統
行程長度 0.1 mm ~ 120 mm
測頭測量范圍 10 mm ~ 20 mm (采用雙倍長度測臂)
標準測尖 Ld a14-10-2/60°, 金剛石2 μm, 60° (6852005)
Z向分辨率 2 nm
水平測量軸 光柵
X方向點距 0.25 μm ~ 1μm
殘余誤差 60 nm
接觸力 1 mn ~ 30 mn，可通過軟調節
測量速度 0.1 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于輪廓測量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度測量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接觸.2 μm
距離測量顯示誤差， MPeea ± (1 +2L/150) μm
例如：測量距離50 mm時，誤差為 ± 1.66 μm
角度測量誤差 1.5 min
半徑測量誤差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 100 mm ± (3r/20) μm
r > 100 mm ± (7.5 + 9r/40) μm
例如：r 10 mm，誤差為 ± 1.5 μm
一般參數
工作環境溫度 15 °c ~ 30 °c
建議工作溫度 20 °c ± 2 K
存放溫度/運輸溫度 0 °c ~ 40 °c (于專用運輸箱內)
相對濕度 30 % ~ 80 %
·附件
在 MarSurf UD 120 / LD 120上進行簡單而準確的測臂更換
對大多數的工件來說，標準配置的測頭就可以在多種測量位置上進行輪廓和粗糙度的測量。但是，并不是所有測量任務都可以用一個測臂完成，比如：小孔內的測量、深溝槽內的測量、上下雙向測量，以及其它測量任務。這時，更換測臂也非常簡單。不需要任何工具，磁性裝夾的測臂可以輕易地用手摘下，換上另一個測臂，不過幾秒鐘時間。一個球形的定位器可以保證定位精確到以微米計。
只要換上的測臂已經校準過，校準參數就已經保存了，這意味著：更換測臂后無需重新校準！
從操作方便和節省時間的角度來看，這是 Marsurf UD 120的一個實質性優點!
德國Mahr馬爾MarSurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測量儀
·MarSurf LD 120測量站發貨清單
訂貨號 6910046
計算機，帶Marsurf XCR 20軟件 6268382
包括：Midrange控制器和軟件
多國語言版Win XP 62682xx
19“ TFT 液晶顯示器 5460043
Marsurf UD 120驅動器 6720814
包括： 測臂
手動控制面板 MCP 21 7033935
ST 500 CNC 立柱 6710254
帶HZ調節和大理石平板
包括：控制模塊 6851376
UD 120 / LD 120測頭
安裝于ST 500測量立柱上 6851360
UD 120 / LD 120安全保護裝置 7033457
校準標準 6820121
X/Y 向工作臺CT 200 6710530
防震墊 6851368
·技術參數
測量系統 光學測量系統
行程長度 0.1 mm ~ 120 mm
測頭測量范圍 10 mm ~ 20 mm (采用雙倍長度測臂)
標準測尖 Ld a14-10-2, 金剛石2 μm, 90° (6852002)
Ld a 14-10-500, 紅寶石測球，500μm (6852003)
Z向分辨率 2 nm
水平測量軸 光柵
X方向點距 0.05 μm ~ 1μm
殘余誤差 35 nm
接觸力 0.5 mn ~ 30 mn，可通過軟調節
測量速度 0.5 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于輪廓測量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度測量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接觸.1 μm
距離測量顯示誤差，MPeea ± (1 +L/100) μm
例如：測量距離50 mm時，誤差為 ± 1.5 μm
角度測量.5 min
半徑測量誤差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 300 mm ± (r/10) μm
r > 300 mm ± (30 + r/5) μm
例如：r 10 mm，誤差為 ± 1.5 μm
一般參數
工作環境溫度 15 °c ~ 30 °c
建議工作溫度 20 °c ± 2 K
存放溫度/運輸溫度 0 °c ~ 40 °c (于專用運輸箱內)
相對濕度 30 % ~ 80 %
·MarSurf LD 120 附件
MarSurf LD 120帶來的準確度
正如前面列出的LD 120的技術參數值所示，35nm 的殘余誤差值、2nm 的分辨率、0.5~30mN 的穩定測力、最小0.05μm 的測量點距，LD120測頭能使微觀表面上和邊緣倒角上的精確測量變得可能。但對于客戶來說，更關鍵的是訂購的設備是不是能夠順利的通過驗收，以及設備的能力是否能滿足測量任務的要求。
Marsurf LD 120已經通過了世界范圍數百家客戶的測試和證明。通過機械技術、光學技術、控制技術和軟件技術的優化交互使用保證了測量的高準確度，您可以通過該設備的測量可靠地將尺寸誤差控制到微米級別。
應用舉例
