otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區域的絕對反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。
各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量?？梢赃M行1秒/點的高速測量。此外，它配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。。
特征
膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量（多層膜厚度、光學常數）
每點1秒以內的高速測量
實現顯微鏡下寬測量波長范圍（紫外到近紅外）的光學系統
區域傳感器安全機制
一個簡單的分析向導，即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析
配備可自定義測量順序的宏功能
也可以分析復雜的光學常數（多點分析法）
300mm載物臺兼容
能夠從低亮度到高亮度進行高速、高精度測量的光譜輻射亮度計。
使用電子冷卻線性陣列傳感器，的光譜設計和信號處理電路在寬亮度范圍和波長范圍內實現了低噪聲、高精度測量。
特征
- 采用亮度和色度精度高的分光法（衍射光柵）
- 能夠測量從0.005cd/m2的超低亮度到400,000cd/ m2的高亮度
- 支持 CIE 推薦的寬波長范圍（355nm 至 835nm）
- 專有光學系統減少了偏光誤差 (<1%)，
可以高精度測量具有偏光特性的樣品，例如 LCD。 - 包括通信時間在內，僅需 1 秒即可進行高速測量。
（在連續測量的情況下，最小為 20 毫秒/次，甚至可以更快地測量。） - 無需改變測量角度即可支持寬亮度范圍。（0.005cd/m 2至 4,000cd/m 2
在2°的測量角度） - 可以對頻率照明光源進行高精度和穩定的測量。
測量項目
| - 輻射 (W/sr/m 2 ) | - 色域（NTSC 比例）*1 |
| - 亮度 (cd/ m2 ) | - 反應速度*2 |
| - 色度坐標 xy [符合JIS Z8724 ] | - 亮度 (J) *3 |
| - 色度坐標 U'V' [符合JIS Z8781-5 ] | - 亮度 (Q) *3 |
| - 相關色溫 | - 飽和度 (s) *3 |
| - CIE 顏色系統 2°/10° | - 色度 (C) *3 |
| - 三刺激值 XYZ | - 色彩度（M）*3 |
| - 偏差 | - 等效亮度值*4 |
| - 光譜數據的四種算術運算 | |
| - 光譜數據的功能處理 |
應用
LCD、PDP、有機EL、大尺寸LED視覺等顯示器件的
光譜數據、亮度、色度、相關色溫測量照明光源（如燈）的光譜數據、亮度、色度和相關色溫的測量
作為各種亮度和色度測量儀器的標準
物體的非接觸式顏色測量
