產品參數
產品型號：SJ6000
產品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩頻方式：雙頻激光熱穩頻
穩頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
產品特點
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現垂直度、平行度、角度、直線度、線性測長、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺
產品優勢1）精度高
SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；干涉鏡與主機分離設計，保證了干涉光路穩定可靠；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償。
2）功能廣
- 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
- 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 可實現對機床回轉軸的測量與校準；
- 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
- 具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
- 支持手動或自動進行環境補償。
- 友好的人機界面；
- 豐富的應用功能模塊；
- 向導式的操作流程；
- 簡潔化的記錄管理；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業專屬模板定制。
內置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準?？梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。
應用案例
測量機床回轉軸精度
測量機床直線度
數控機床精度校準
在這些測量中，除了應用激光干涉傳感器測定工作臺（或測桿）位移外，還需有相應的瞄準裝置。常用的有光電顯微鏡瞄準（應用于線紋尺及某些工件尺寸和坐標位置測量），白光干涉瞄準（用于量塊檢定）及接觸瞄準（用于一般精密量塊及工件尺寸和坐標位置測量）。激光干涉傳感器還可應用于精密定位，如精密機構加工中的控制和校正、感應同步器的刻劃、集成電路制作等的定位。
此前，國產與國外的產品有著一定的差距，SJ6000激光干涉儀型號的推出打破了這一局面，降低了企業的檢測成本。在測量精度、測量速度、測量類型等方面，SJ6000激光干涉儀為用戶提供了選擇。
