標準主機包含單色化Al Kα X射線源,可實現大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能。
•業界功率的600W單色化Al Kα X射線源,確保的分析靈敏度。
•平均半徑165mm的雙層能量分析器,確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像。
•的浸入式磁透鏡技術,大幅度提高分析靈敏度。
•的快速平行X光電子實時成像,空間分辨率優于3μm,像素65,536(256×256),可進行微區元素和化學態空間分布分析。
•的同軸超低能無陰影單電子源荷電中和器,解決絕緣體XPS分析。
•的二維陣列延遲線檢測器(Delay-Line Detector),同時記錄光電子的強度和發射位置,可實現在數秒鐘之內獲得高能量分辨XPS譜。
•全自動超大樣品臺,可實現100mm×100mm的大樣品分析。
•能量分辨率優于 0.45eV(Ag 3d5/2),常規分析能量分辨和靈敏度高達0.55eV@1.1Mcps(Ag
•絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達0.68eV@16kcps(PET的C 1s)。
•選配單色化Al/Ag雙陽極X射線源,實現高能XPS分析。
•結合了數據采集和數據處理的Vision軟件,可運行于Windows XP/Vista/7等多種平臺下,實現各真空室真空度實時顯示,操控真空閥門開關,實驗條件設定和全自動無人值守分析等強大功能。