產品介紹
系統集成了一對共焦色差位移傳感器（納米分辨率），采用單點非接觸式測量，配合高速X/Y/Z多軸坐標運動，可以同時采集單個鏡片或微鏡頭前后表面和基準面的3D形狀點云得到相應的幾何特征。不僅可以測量旋轉對稱的樣品，還可測量更復雜的非軸對稱或自由曲面樣品，樣品的直徑可達到50mm（外徑75mm）。
根據透鏡直徑和三維點云采樣密度的不同，透鏡每個表面的測量時間范圍是30秒到4分鐘 。（30-240秒）
應用
CUBE系統是專門為車間的品控設計的，針對拋光、模壓和金剛石車削的光學元件的快速檢驗，包括紅外材料和金屬。這個系統的另一個優勢是能在單個測量序列中完成多個較小的透鏡或透鏡陣列的測量。
特點
測量的幾何特征包括：
1. 相對于中心軸，前后表面頂點的偏移
2. 相對于水平基準，前后表面的楔角
3. 前后表面的總體厚度變化（TTV）
4. 前后表面矢高與表面面形
? 緊湊，帶隔離箱的臺式設計
? 雙共焦色差傳感器（8kHz）、單點、非接觸、可見光測量
? 振動不敏感，穩定的殷鋼框架
? 納米級編碼X/Y/Z多軸坐標運動，以磁驅直線電機，采用交叉滾子軸承，在50mmx50mm x50mm的范圍內，完成快速柵格或螺旋掃描
? 精密自定心夾具，快速裝卸樣品
? 夾具同時適用于75mm外徑的光學元件和微透鏡陣列
? 簡單方便的QuickPro操作和數據采集軟件，擁有傳感器優化設置、數據采集、自動定心和坐標運動功能
? CalcuSurf-3D 視圖分析軟件，用于觀察分析多表面的三維點云數據
產品參數
| 系統 | |||
| 尺寸（長/寬/高） | 500mm/500mm/500mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 系統控制 | 電源，運動控制，傳感器控制 | ||
| 電源 | |||
| 運動控制 | |||
| 運動范圍 | 50mm x50mm x50mm | ||
| 編碼器分辨率（X/Y/Z） | 5nm/5nm/1nm | ||
| 驅動形式 | 磁驅直線電機 | ||
| 軸承形式 | 交叉滾子軸承 | ||
| 平整度 | 1um/50mm | ||
| 樣品尺寸 | 外徑75mm | ||
| 載重 | 2kg | ||
| 傳感器 | |||
| 技術 | 色差共聚焦 | ||
| 應用 | 距離，偏心，楔角，矢高，厚度 | ||
| 采樣 | ：4000點/秒 | ||
| 可選測頭 | 0.2mm | 1mm | 4mm |
| 橫向分辨率 | 1.5um | 2.5um | 4um |
| 工作距離 | 5mm | 16mm | 37mm |
| 軸向分辨率 | 10nm | 50nm | 150nm |
| 軸向精度 | 50nm | 100nm | 500nm |
| 斜率 | ±45° | ±28° | ±20° |
| 測量精度 | |||
| 平移偏心 | ≤5um | ||
| 傾斜偏心 | ≤10arcsec | ||
| 矢高誤差 | ≤0.5um | ||
| 厚度（S1-S2） | ≤5um | ||
