德國Diener Zepto W6 等離子表面處理機
德國Diener electronic GmbH + Co. KG公司成立于1993年,專業從事等離子表面處理設備的研發與生產, Diener等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等。可選擇40kHz/80kHz/100kHz、和三種射頻發生器,以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。等離子產品線包含標準及特種設備,涵蓋所有等離子表面處理應用領域,同時該公司接受非標定制及樣品批量處理服務。
主要應用領域:
1、半導體元件、印刷線路板的清洗。
2、高分子材料表面修飾
3、生物芯片、微流控芯片的清洗
4、芯片、電子元件、光學器件、激光器件、鍍膜基片等的清洗
5、各種形狀的人工晶體、ATR元件、天然晶體和寶石的清洗。
6、光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片的清洗。
7、各種陶瓷、金屬基片上的殘留凝膠等雜質的清洗。
8、各種醫療器材和儀器的清洗。
9、增加復合材料、生物分子材料表面的結合力。
參數:
1. 手動控制運行模式
2. 常用工作氣體空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
3. 功能:表面清潔、激活及改性
4. *發生器、控制器及艙體一體設計,根據工藝要求不同,可在主機上完成功率、氣體流量的設置
5. 雙路工作氣體,浮球氣體流量計
6. *高硼硅玻璃反應艙,Dia.:160mm*L180mm,容積為4L
7. *高周波射頻頻率 0~300W 功率連續可調
8. 電極材質為鋁/不銹鋼,覆蓋玻璃艙體外周,保證產生均勻的等離子體,分布精度+/-2%
9. 外形尺寸
10. 電源電壓:單相AC230V 16A
OPTION:
1.石英腔體
2.發生器40kHz,0~100W
3.石英舟
4.真空計
5.計時器
6.真空泵:油泵/干泵