TS2000-HP Probe System 半自動化探針臺測試系統
MPI的TS2000-HP半自動化探針臺測試系統可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測量,*的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測試環境。
為高電壓和大電流量測應用而設計
? 適合至高 10kV / 600A (脈沖)的晶圓高功率組件量測
? 提供載片下的高功率動、靜態參數的測試
? 晶圓載物臺表面鍍金,小化接觸電阻;真空吸孔優化,適合裝載至薄 50 µm 的薄晶圓
? 可選配搭載 Taiko 晶圓載物臺
? 提供抗電弧解決方案
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
? 支援飛安低漏電值量測
? 溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C
安全系統
采用可互鎖的安全光幕,可通過互鎖系統關閉儀器,保護用戶免受意外高壓沖擊。
該系統具有后門,并由互鎖保護,以提供簡便的初始安全測量設置。