適用于多種晶圓量測應用
? 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
? 可靠性測試 - 精確的壓力測試
? *的測試控制軟件套件
? 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
? 為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
? 支持飛安低漏電值量測
在建模和新技術開發過程中進行器件表征的常見做法是,通過其精確的IV-CV,1 / f,RF,mmW和負載拉力測量從典型的幾個晶片中提取數據。
MPI的WaferWallet ™擴展了TS3500系列自動化功能,而不會影響測量能力。WaferWallet ™設計有五個單獨的托盤,可按人體工程學手動裝載150、200 或300毫米的“模型”晶圓,可以在不同溫度下用多達五個相同的晶片進行全自動測試。