探針式輪廓儀 / 臺階儀 / P-17 Stylus Profiler
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
產品描述
P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統業界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。
主要功能
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀
應力：2D和3D薄膜應力
缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業應用
大學、研究實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發光二極管
太陽能
MEMS：微機電系統
數據存儲
汽車
醫療設備
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