YRVMS-CNC型全自動影像測量儀技術參數：
儀器型號 | YRVMS-3020CNC | YRVMS-4030CNC | YRVMS-5030CNC | |
工 | 金屬臺面尺寸(mm) | 506×356 | 606×466 | 700×450 |
玻璃臺面尺寸(mm) | 350×280 | 450×350 | 550×350 | |
運動行程(mm) | 300×200 | 400×300 | 500×300 | |
儀器重量(kg) | 140 | 240 | 290 | |
外形尺寸(mm) | 770×590×1100 | 950×700×1100 | 970×670×940 | |
鏡頭 | 日本SONY CCD | |||
X、Y、Z數顯解析度 | 1μm | |||
X、Y坐標示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | |||
鏡頭 | 日本SONY CCD | |||
電機 | 伺服電機：日本 | |||
三軸運動速度：100mm/s | ||||
三軸定位精度：0.001mm | ||||
電源 | AC110V/220V | |||
消耗功率 | <100W（不包括電腦） | |||
