MATTSON二手刻蝕機 ASPEN III,2006年設備,light etcher,可對12英寸晶圓進行蝕刻工藝處理。
制造商:MATTSON
型號:ASPEN III
類型:ETCHERS / ASHERS
年份:2006
晶圓尺寸:12"
其他設備信息:
Light etcher, 12"
Maximum forward RF Power (Set point) Head A to F: 3000
(3) ADVANCED ENERGY RFG-3 RF Generator type chambers