高性能4060手動探針平臺系統，150/200mm晶圓測量
手動探針平臺4060的規格參數：
| 型號 | 4060手動顯微鏡探針平臺系統 |
| 手動探針平臺4060的整體尺寸 | |
| 設備占地面積（寬度 x 深度） | 22.75 x 23.35英寸（57.7 x 59.3 cm） |
| 探針臺（寬度 x 深度 x 高度） | 28.5 x 26.75 x 21.5英寸（72.3 x 67.9 x 54.6 cm） 重量：191 lb（86.6 kg） |
| XY平臺移動 | |
| 行程 | 6 x 6英寸（150 x 150 mm）或8 x 8英寸（200 x 200 mm），手動控制 |
| 分辨率 | 1.0 um per degree |
| 顯微鏡 線形 | |
| 行程（XYZ） | 4 x 4 x 2英寸（100 x 100 x 50 mm） |
| 分辨率 | 3.5 um |
| 大面積鋁壓板 | |
| Z軸行程 | 1英寸（25.4 mm） |
| 分辨率 | 0.1 um / 度 |
美國Micromanipulator設計的4060手動探針平臺是一種高效的，能夠測量6 - 8英寸（150 - 200mm）的手動分析探針站。4060手動探針平臺可以應用于日常故障分析，設備表征和可靠性測試應用。4060手動探針平臺具有高效的、準確的電氣和機械性能的特點，是工業領域上高效、穩定和可靠的150/200mm手動探針系統。
4060手動顯微鏡探針平臺可以根據您的特點需求進行配置，可選配置包括：探針卡座、熱壓板、操縱器、的探針支架、隔震臺、光密封外殼(LTEs)和相機系統等附件。標準的手動探針平臺系統配置選項包括獨立的顯微鏡升降鎖定桿組件、平臺升降和可調顯微鏡升降延遲以及支持低溫探測的黑暗干燥一體化的環境。
4060型號手動探針臺的高效和堅固可靠性結合其性價比的優勢，使其成為一種真正具有成本效益的通用分析探針系統的理想選擇。
4060手動探針平臺系統的特點：
- 手動螺桿控制平臺，精確的控制平衡了晶圓的快速轉換和高分辨率定位的關系
- 螺桿控制壓板，用于探針夾持器定位
- 絲桿驅動高分辨率手動夾持器θ控制
- 高穩定性的顯微鏡支撐架支持高分辨率復合顯微鏡
- 人體工學、直觀、緊湊的設計提高了使用便利性，同時增加了穩定性
- 緊湊的占地面積，能夠有效利用實驗室空間
- 大型鋁壓板允許操作員選擇合適的位置放置操縱器
- 6英寸(150 mm)或8英寸(200 mm)的夾具，具有全晶圓覆蓋級的行程移動
- 可選配熱或熱/冷夾具，包括內部電纜/軟管處理組件，方便在探測站的后部和集成的黑暗/干燥環境進行操作
