FEI掃描電鏡Verios XHR SEM

Verios 是 FEI 可靠的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產品。在半導體制造和材料科學應用中，它可在1至30 kV 范圍內提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度，滿足材料精密測量所需，同時又不會削弱傳統掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優勢。

Verios 的材料科學應用

對材料科學家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當下正在開發的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結構），從

而讓他們獲得重要的新發現。無需轉而采用 TEM 或其他成像技術便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應用，能夠容納全尺寸晶圓或

冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執行快速分析，也可以開展精確的原型設計應用，例如電子束感應式材料直接沉積或光刻。