澤塔Zeta-300光學輪廓儀基礎信息
型號：Zeta-300
產品：光學輪廓儀/表面輪廓測試系統
品牌：Zeta澤塔
簡介：的3D成像及測試系統（為用戶量身打造的表面輪廓測量設備，是表面量測領域的）
澤塔Zeta-300光學輪廓儀簡述
最的3D成像及測試系統（為用戶量身打造的表面輪廓測量設備，是表面量測領域的）Zeta3D光學輪廓儀可以對近乎所有材料和結構的樣品進行測試,從低反射率高粗糙度的太陽能電池片到高精密拋光的磁盤介質，甚至包括高縱橫比結構的微機械部件和多層結構的微流體其器件。Zeta強大的研發能力還提供特種應用的設備定制服務，精密的光學測試系統和靈活自動的測試軟件包讓用戶的測試工作變得更加靈活簡單。
澤塔Zeta-300光學輪廓儀特點
多功能光學測試模組
·Zeta-300測試系統提供多種光學測試技術，滿足用戶各種領域的測試需求：
·ZdotTMZ點陣3維成像技術，是Zeta所有系列產品的標配技術
·ZIC干涉反襯成像技術，實現亞納米級粗糙度表面的成像及量化分析
·ZSI白光差分干涉技術，搭配任意物鏡實現Z方向超高分辨率的測量能力
·Zx5白光干涉技術。保證Z方向高分辨率測量的同時，提供大視野范圍內的測量和統計分析
測試速度快
1分鐘內完成所有類型樣品的3D掃描成像及統計分析，其超高的分辨能力甚至可以對納米級的缺陷進行成像。
操作簡單
自動化測試程序，一鍵式操作過程，測試菜單設置簡單，30分鐘培訓速成，結果輸出直觀。
功能強大
支持Zeta所有的測試技術，滿足用戶對不同樣品的測試需求，包括Zeta現有的光學輪廓測試技術、粗糙度和臺階高度測試技術等。
澤塔Zeta-300光學輪廓儀技術規格
Zeta-300產品尺寸(mm)
系統(長X寬X高)：510x725x773
主機：381x457x102
顯示器：596x449x240
總重量：145lbs/65kg
Zeta-300操作規范
電壓:100-230VAC
電流:4A
工作溫度:18-30oC，非冷凝，±1℃每小時
Zeta-300性能配置
3D成像:~1秒/點(ZiC)~10秒/點(ZSi)~25秒/點(ZDot)
像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)
最小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載臺)13nm(Z軸精密絲杠傳動)
Z軸分辨率：0.5(ZSi)
13nm(Zdot)
重復性3：7nm(1σ)
Zeta-300系統配置
相機選項：640x480,1024x768,1280x960
總放大率：35,000x(光學和數字放大)
系統光源：3個大功率白光LED
自動載臺：150mmx150mm(XY方向)
Z軸測試范圍：40mm
