● 桌上型膜厚量測設備
● 安裝移動迅速便捷
● 適用于所有非金屬膜質
● 多樣化的應用選擇
● 工業標準數據端口
全光譜橢偏儀——
規格 | 技術指標 |
襯底類型 | 透明或半透明襯底 |
光源 | 氙燈 |
光源壽命 | >8760H |
光譜范圍 | 300-1000nm |
入射角 | 70度(40度-90度 每5度可調) |
光斑直徑 | 100x120μm(Min80x100um) |
測量時間(不對焦) | <2S(單層模型),<約6s(多層模型) |
膜厚測量范圍(單層膜) | 1nm-15μm |
對焦 | 自動訊號對焦 |
膜厚測量精度 | <0.5nm(基于標片) |
折射率測量精度 | <0.005(基于標片) |
厚度重復性精度: | <0.5A(1 sigma 標準差,10times)(基于標準片) |
折射率重復性精度: | <0.0005(1 sigma標準差,10times)(基于標準片) |
可測試膜層數量 | ≥2層 |
標片數量 | 2片 |