a) 較高的擴散性：臭氧為氣體，擴散性好，，濃度分布均勻。
b) 殺菌能力強：臭氧殺菌能力與過氧乙酸相當，高于其它消毒劑。
c) 廣譜性：適合多種致病微生物，對大腸桿菌、沙門氏菌、及甲乙型肝炎病菌、真菌等多種微生物均有很好的殺滅作用。
d) 原料易得：臭氧設備是利用我們周圍的大氣制取，不需儲藏設施，節省原材料儲藏所需的占地面積。
e) 環保性：臭氧能快速分解成氧氣和單原子氧，單原子氧又可自身結合成氧分子，故沒有二次污染的問題。被為是綠色消毒劑。
另外在我國衛生部1991年頒布的“消毒技術規范”中。對臭氧的殺菌作用，使用范圍及使用方法都有明確的規定。其中對臭氧的殺菌作用作了明確的肯定：“4.12.2殺菌作用：臭氧是一種廣譜殺菌劑，可殺滅細菌霉體和芽胞，病菌、真菌等，可破壞肉毒桿菌毒素。臭氧在水中的殺菌速度比氯快。”
以上這些都是我們國家的法規，充分說明了臭氧滅菌的原理和特點，它既是選用臭氧滅菌工藝的依據，也是臭氧發生器制造工廠制造臭氧發生器的強大推動
二、臭氧在化妝品生產行業中的應用：
盡管在我國的GMP驗證中早已推薦了臭氧滅菌方法，但臭氧在化妝品生產中的應用是在近二年才開始熱起來。用得比較成功的有以下幾個方面：
（一）容器的消毒滅菌
現在用臭氧消毒技術來代替常用的老式消毒方式，如高溫消毒，紫外線消毒等，相對來說要省事的多。具體方法是：將高濃度的臭氧直接打入管道容器，保持臭氧尾氣有一定的濃度，就可以達到消毒滅菌的要求。因為是對管道容器進行內表層的消毒，所以臭氧濃度用的高一點，我們的設計濃度大于50ppm。
用臭氧對管道容器做消毒滅菌的優點非常明顯，臭氧發生器可以流動使用，對不同的罐進行消毒，每個生產單元在每次換料前，都可以及時得到消毒，使用效率很高，很方便，不要用那么多的酒精，不要用氮氣，也不要用高壓蒸氣。所以在化妝品廠、食品廠得到了廣泛的推廣。
（二）空調凈化系統對潔凈區的消毒滅菌
在化妝品廠，一般來說，潔凈區面積較大，多用空調凈化系統完成對各潔凈區的凈化消毒。
化妝品廠的日常消毒一般采用紫外線照射。然而紫外線以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達到照射強度標準才有殺菌效果。化妝品廠加工車間很高、很大，照射強度與距離平方成反比，強度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴散性好，，濃度均勻。紫外線殺菌在相對濕度60％以上時效果急劇下降，80％濕度上時反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對食品行業80％－90％高濕環境特別適合。
化妝品廠生產車間安裝臭氧設備所需投資與紫外燈相當（按16-18m3裝一只30W紫外燈設計標準），而運行費用由于臭氧設備省電、壽命長而大大降低，對于新建車間更為經濟。
傳統的大消毒方法是用甲醛熏蒸，如上所述，甲醛熏蒸的弊病不少，用臭氧消毒來代替是一個好方法。其方法是將臭氧發生器直接放在空調系統的風道中，稱為內置式發生器。臭氧隨著風道的氣流，送入各潔凈區，對潔凈區進行消毒滅菌，剩余臭氧吸入回風口，由空調帶走。也可以將臭氧發生器放在空調風口的外面，將臭氧打入空調的風道中，然后被送入各潔凈室，稱為外置式臭氧發生器。外置式臭氧發生器安裝檢修方便，但制造成本要高一點。兩種方法消毒效果都是一樣的。按照衛生部消毒規范的要求，對空氣消毒的臭氧濃度是5ppm，但事實上，潔凈區的消毒不僅是對空氣的消毒，實際上還包括了對物體表面的消毒，所以，我們設計的濃度為10ppm。每天上班前開機二小時，下班時關機，就可以保證一天內潔凈區的浮游菌和塵降菌達到GMP的要求。
據檢測報告，應用臭氧發生器，各潔凈區在40分鐘內，臭氧濃度均達到10ppm以上，菌檢全部合格。而且每天都合格，替代了另人頭疼的甲醛熏蒸大消毒。同時，使非生產作業減少，能耗減少，取得了滿意的效果。
（三）空間的消毒滅菌
對于空調凈化系統以外的潔凈室，或需要滅菌的其它房間則需單獨進行滅菌處理。方法是選用臭氧發生器，直接安裝在該房間內。根據需要設定消毒時間，消毒結束便自動關機，所以使用非常方便。
對于有潔凈度要求的房間，機內裝有過濾器，使臭氧發生器具有自潔功能。臭氧濃度按10-20ppm設計。按房間空間體積的大小選型使用。只要滿足臭氧濃度的要求，就可以達到消毒滅菌的目的。比用化學試劑對房間的熏蒸要省事得多。
（四）物品表面消毒滅菌
在化妝品生產過程中，常常要對原材料，工器具，包裝物等進行表面消毒，常常使用消毒柜，傳遞窗等。傳統的方法是用紫外線消毒。問題主要是在消毒不，所以，若使用在諸如傳遞窗等要求不高的場合是可以的。但遠不如臭氧的效果好。能用臭氧發生器做成的消毒柜在食品廠是深受歡迎的。只要不怕臭氧腐蝕的東西都可以放在柜內進行消毒。臭氧濃度可以設計的高一點。可以取得100ppm 以上。
(五) 水的消毒滅菌
在化妝品廠用水的地方較多，根據不同的水質要求，采用不同的工藝流程，消毒工藝則用一般的臭氧水處理方法即可達到滿意的效果。這里就不再詳細介紹了。
三、臭氧滅菌在HVAC系統應用方案
在化妝品生產工藝中，對于無菌生產、潔凈生產潔凈區域環境的微生物進行有效的控制，需要選擇適宜的消毒滅菌劑，殺滅潔凈環境內和浮在機誡設備、模具、容器、建筑物表面上的雜菌，以保持生產所必須的相應潔凈度環境。
1、 應用機理與性
利用HVAC系統的循環風作為臭氧的載體，即將臭氧發生器生產的臭氧氣體由HVAC系統中凈化風機產生的壓力風源，擴散至所控制的整個潔凈區域，并且使空氣中臭氧濃度均勻，在潔凈區域的生產環境中不增加任何消毒設備，即可達到滅菌的目的，同時對HVAC系統起到殺滅雜菌和霉菌的效果，實踐發現，該消毒滅菌方式還能對高效過濾器起到容菌疏導作用，延長其使用壽命。
2、臭氧發生器選型
使用臭氧發生器，就必須知道臭氧發生器的評價指標。一般評價一個臭氧發生器*基本的指標是：臭氧產量，臭氧濃度，可靠性、使用壽命，電耗等。用于食品廠的臭氧發生器功率比較小，電耗是一個次要條件。
3、臭氧發生器安裝位置有以下幾種方法：
（1） 選用移動式臭氧發生器放在單獨房間內
（2） 組裝在空調機組中
（3） 在總送風管道內
（4） 在總回風管道內
（5） 單獨設置，只將排氣口插入（回）風管道內
現在都采用第五種方式，它由一套臭氧發生器產生臭氧可同時供多個車間使用。流程如下：
空壓機-富氧機-臭氧發生器-空調總送風管-各凈化區。
臭氧發生器把產生的臭氧用尼龍管直接引到送風主管道中，利用HVAV系統中凈化風機產生的壓力源，擴散至所控制的整個潔凈區域，此安裝方法對新建、改建廠房均適用。對沒有HVAC系統的房間，可以把臭氧直接通到房間內，利用內循環，把臭氧擴散至整個房間，同樣可以達到消毒滅菌目的。
4、臭氧滅菌經濟效益分析
臭氧設備運行費用
電耗 氣耗 總運行費用
Kwh 費用（元） m3 費用（元） （元/年）
2.8 2.8×30×11×0.6 5.6 5.6×30×11×1.6 3511.2
554.4 2956.8
甲醛運用費用
電耗 甲醛 乙醇（75%） 總運行費用
Kwh 費用（元） 用量 費用（元） 用量 費用（元） 元/年
100 100×24×2×11×0.6 每月用360L 300×11×10 每月用800L 800×0.75×11×4 97680
31680 39600 26400
(一) 臭氧消毒代替化學試劑熏蒸滅菌，實現了潔凈室空調系統節能。
GMP實施指南要求潔凈度100級，10000級區域的空調宜連續運行，非連續運行的潔凈室，可根據工藝生產要求，在非生產班次時，空調系統宜作值班運行，使室內保持正壓。為保證潔凈度，一般空調是連續運轉的，只有這樣才能避免潔凈室受到懸浮粒子和微生物的污染。用臭氧對潔凈室進行消毒滅菌，就可以在無菌室不作業時，將空調機組全部停止運行，上班時2小時左右，開風機消毒滅菌換空氣即可，實現了潔凈室的節能。
如工廠空調系統送風量為100000m3/h，風機總功率按100kw，產品生產按12小時設計，采用臭氧消毒，每天至少減少風機運行時間10小時，以每月生產27天，這樣每年生產11個月計可節電：
100×10×27×11=297000kw，如電價為0.6元/kw，全年節約電費：297000×0.6=178200元
（二）節約消毒劑減輕勞動強度，同時解決了消毒劑易燃易爆問題。
（三）由于采用臭氧消毒，可以避免化學藥劑熏蒸產生的二次污染問題，而且對空氣過濾器有疏導作用，這樣就會延長過濾器尤其是高效過濾器的使用壽命，從而節約維護費用。
（四）取消每月二次的大消毒，可延長周期，提高產量。臭氧消毒用于潔凈室消毒，不但能滿足生產要求，保持良好的工作環境，而且會產生可觀的經濟效益
