日本irs 半導體過程溫度監控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過程溫度監測
2.實時發射率和溫度測量(同一測量點)
3.實現高靈敏度和寬動態范圍
4.支持高采樣率(~3kHz)
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動輸入發射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實時發射率校正型半導體工藝溫度監控器可以實時測量和校正目標晶圓的發射率,這在以前是不可能的,因此無論晶圓薄膜的類型如何,都可以實現精確的溫度測量。
日本irs 半導體過程溫度監控器 NTM-DeLTA/NTM-ETA
特征
1.原位、非接觸式過程溫度監測
2.實時發射率和溫度測量(同一測量點)
3.實現高靈敏度和寬動態范圍
4.支持高采樣率(~3kHz)
5.接口豐富
6.ETA和DeLTA配合使用可自動輸入發射率
目的
1.RTP流程
2.物理氣相沉積工藝
3.CVD工藝
4.蝕刻工藝
5.MOCVD工藝等
我們的實時發射率校正型半導體工藝溫度監控器可以實時測量和校正目標晶圓的發射率,這在以前是不可能的,因此無論晶圓薄膜的類型如何,都可以實現精確的溫度測量。
公司簡介
深圳九州工業品有限公司,坐落于深圳市,是一
家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子
產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿
易、經營進出口等業務。搭建工業品供應鏈,采
用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集
中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美
國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業國際采
購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各
類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與
廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠
家建立了長久合作伙伴關系。