配氣設備 | ||
型號 | 類型 | 氣路數(個) |
GDT | 臺式 | 2~4 |
GBF | 落地式 | 2以上 |
項目/型號 | GDT-MFC-4 |
適配電源 | 220V 50HZ |
流量計標準量程 | 100sccm/200sccm/200sccm/500sccm(非特殊定以氮氣標定,量程可選) |
工作溫度 | 5~45℃ |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
可達壓力 | 3MPa |
準確度 | ±1.5% FS |
測量范圍 | -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) |
針閥 | 316不銹鋼 |
截止閥 | 316不銹鋼針閥 |
尺寸 | 260*450*450 mm |
GD系列配氣設備選型表 | |||
類型 | 參數 | 選型代碼 | 備注 |
流量計
| 玻璃轉子型 | GRF | |
質量流量型 | MFC | ||
2 | 2 | ||
3 | 3 | ||
氣路數 | 4 | 4 | |
定制 | -- |