潔凈室及空調負荷
1 當前集成電路(IC)及平板顯示模塊(FPD)生產的潔凈室面積及型式
[url=http://www.iwuchen.com/]潔凈棚[/url]IC生產需要較多的潔凈室面積,新興起的FPD生產,當前主要是薄膜晶體管液晶顯示模塊(TFT-LCD),更是*。這些產品生產需要大量的潔凈室面積都是由生產工藝特點的要求以及規模經濟情況決定的。
目前上述生產廠的潔凈室型式多為微環境+開放式潔凈室。過去IC生產采用微環境+開放式潔凈室,還是隧道式潔凈室,在綜合經濟效果上存在著不同看法。隨著IC技術的飛速發展,對生產環境的污染控制要求更嚴,對其靈活性要求更大,以適應產品更新換代快的要求,另外微環境與工藝結合的技術進一步發展,因此,當前微環境+開放式潔凈室的型式對*的IC生產,其優勢已較明顯。新興起的FPD生產其潔凈室亦基本采用這種型式。
2 1C及四FPD生產空調冷負荷情況及節能措施
2.1 1C廠空調冷負荷大的原因
2.2 當前行之有效的或較合理的節能措施提出如下
(1)宜選擇高能效的設備;尤其是冷水機組、水泵,多付出的設備投資,其回收期一般較短;
(2)[url=http://www.fenglinji.com/]全自動風淋室[/url]冷水水溫宜提高至△t=7℃(即t1=5℃,t2=12℃)以減少水泵功率及管徑,表冷器因冷水回水溫度提高而引起傳熱面積的增加,一般不會>10%,經濟效果會是明顯的;
(3)對送入潔凈室內的空氣,由于工藝發熱量大,多采用新風處理到規定要求后與回風混合,以干表冷器進行處理,這樣可提高干表冷器所用冷水溫度至12℃/17℃,以節省冷水機組的運行能耗;
因此,[url=http://www.songfengkou.com/]高效送風口[/url]冷水系統按冷水溫度的不同宜分成二個系統,使一部分冷水機組運行工況為12℃/17℃,以更好的實現冷水機組的運行節能;
(4)合理的自控系統以實現運行節能;
(5)熱回收利用。由于全年有空調冷負荷,因此,冷水機組冷凝器的熱回收,有現實意義,宜進行平衡分析;
在某些地區,可考慮采用無費制冷,即利用冷卻塔的冷卻水溫度低于冷水溫度1.5-2℃時,
設板式換熱器以冷卻水吸收冷水的熱來制取冷水,而停一部分冷水機組,這對干表冷器的冷水系統(12℃/17℃)更具有意義;
(6)IC廠全廠用電負荷大(一般在20000~40000kW),冷負荷又全年都有,在某些情況下,
有采用熱電冷聯產的條件,應加以注意。
參考鏈接:
手術室凈化工程:http://www.iwuchen.com/6/
潔凈室等級標準:http://www.iwuchen.com/news-2/
潔凈室檢測標準:http://www.iwuchen.com/news-3/
無塵廠房設計規范:http://www.iwuchen.com/news-4/
無塵車間管理制度:http://www.iwuchen.com/news-5/
潔凈室換氣次數標準:http://www.iwuchen.com/a-95/
高效過濾器檢漏:http://www.songfengkou.com/news-2/
風淋機:http://www.fenglinji.com/