超純水設備可以將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。設備產水電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。集成電路工業中超純水設備用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水設備產出的超純水。

依各種原水水質和用戶要求的不同，超純水設備的工藝大體可分為預

處理、脫鹽和精處理三步。

預處理 包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^濾是除去有機物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。

脫鹽 包括反滲透、離子交換。反滲透是滲透現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透，脫鹽可達98%，并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當水通過陽離子交換樹脂時，水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附，樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結合成相應的無機酸，如