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北京漢默科技有限公司
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ALICAT氣體質量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質量流量和體積流量，美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。美國ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質量流量控制器內置130種氣體，大大節約用戶成本。反應時間快。
一、ALICAT氣體質量流量控制器產品特點
1、50毫秒內完成穩定的控制響應
精確、穩定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值?？焖佟⒖芍貜?、穩定！
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應
? 允許用戶自行調節PID以獲得良好的速度和穩定性
? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩定性
? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制
三、常用選配項
? 后置閥門，優化真空及背壓應用的控制
? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類2區 / ATEX認證1類2區允許設備用于危險環境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合
四、性能參數
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
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