特點:
- 專為重要控制和安全而設計的系統。
- 多達9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。
- 主軸組件具有直流無刷伺服電機,可實現準確的速度控制和分度。
- 特氟龍涂層不銹鋼臂可調節臂速度和行進位置。
- 徑向排氣腔,用于大層流,蓋子頂部有N2進料。
- DI-H20加熱器,用于清潔和干燥輔助。
- 過程中包含化學相容性材料PVDF或可選的PTFE。
- 獨立式聚丙烯柜。
- 微處理器控制功能可以在存儲器中保留三十(30)步的配方,每個配方有三十(30)步。配方和步驟的數量均可根據要求擴展。
- 內置安全聯鎖和雙重控制。
- 用聯鎖裝置沖洗整個工藝區域和基材的pH值,以禁止進入工藝區域并控制排放和主軸轉速直到安全。
- 按鈕蓋打開/關閉。
- 觸摸屏圖形用戶界面(GUI),易于編程和安全鎖定,并帶有屏幕錯誤報告。
- 用于化學和房屋排水的排水分流閥。
- 設計符合SEMI S2 / S8準則。
技術參數:
- 產品:蝕刻和剝離系統
- 型號:CESx124
- 可用機械臂:4
- 大基板尺寸:13英寸直徑
- 大主軸速度:2500
- 配方:高達30
- 分配管路:12
主營產品:
Laurell勻膠機
Harrick等離子清洗機
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺
ALD原子層沉積系統
TRION反應離子刻蝕機
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機
Novascan紫外臭氧清洗機
Nilt納米壓印機
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統,濕站系統
Wabash/Carver自動壓片機