廢氣介紹：由于半導體工藝對操作室清潔度要求*，通常使用風機抽取工藝過程中揮發的各類廢氣，因此半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發為主。這些廢氣主要可以分為四類：酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。

廢氣危害：半導體制造工藝中產生的廢氣如果沒有經過很好的處理進行排放，將造成嚴重的問題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環境，造成環境污染的公害事件等，也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。

半導體廢氣處理

處理方法：依據這些廢氣的特性，在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，針對不同污染物，可采取以下綜合處理方法：1.一般排氣系統 2.酸性、堿性廢氣處理系統 3.有機廢氣處理系統等。半導體廢氣處理設備半導體廢氣處理設備

隨著工業化程度的不斷提高，VOCs的污染有進一步擴大的趨勢。而隨著zui近環保政策的愈加嚴厲，對有機污染廢氣的排放控制就顯得更為重要了。當前，VOCs治理有兩類基本技術，一類是回收技術，治理的基本思路是對排放的VOCs進行吸收、過濾、分離，然后進行提純等處理，再資源化循環利用。另一類是銷毀技術，處理的基本思路是通過燃燒等化學反應，把排放的VOCs分解化合轉化為其他無毒無害的物質。目前，這兩類技術都得到研究和應用。