超純水設備是是純水設備的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水設備是一般工藝很難達到水平，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。

光學行業EDI超純水設備大多采用反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

性能優勢:

1、可連續，穩定地生產高品質純水，無需因樹脂再生而停機；
2、無污染物排放，既環保又省去了廢液處理的投資；
3、設備結構緊湊，占地面積小，節省空間，同時還具有節能優點；
4、脫鹽率大于99.9%，效率遠遠高于兩級反滲透和單純的離子交換。

光學行業EDI超純水設備主要采用預處理、反滲透工藝、EDI等工藝流程，能將水中的導電介質去除，又能將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物去除，是目前工藝流程中的手段。適用于電子光電、化工冶金、電廠鍋爐、電鍍涂裝行業；精密機械、汽車工業等行業。