大型化工業超純水設備大致分成以下幾種：

1、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

2、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

大型化工業超純水設備應用領域：

1、電子、半導體行業:制取電子工業生產如單晶硅半導體集成電路塊，顯象管，玻殼，液晶顯示器等制造工業用純水、超純水機。

2、醫藥行業用水:制藥、制劑工藝用水，醫療血液透析、生化分析、輸液等。

3、鍋爐水處理:石油、化工、煉油、火力發電、電力、制取熱力、冶金、食品、造紙等行業中鍋爐，廠礦企業高、中、低壓鍋爐給水所需軟化水、除鹽純水。

4、飲料行業:飲用純凈水、蒸餾水、天然水、礦泉水、礦化水、酒類生產白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過濾等。

5、賓館、樓宇、社區優質供水網絡系統及游泳池水質凈化。

6、制取電鍍工藝用去離子水、電池(蓄電池)生產工藝的純水，汽車、家用電器、建材產品表面涂裝、清洗純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。

7、石油化工行業:如化工反應冷卻、化學藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用工藝純水